标准手动探针台
型号:hmp-800 可测8’’晶圆
型号:hmp-1200 可测12’’晶圆
此款探针台采用可靠的,高精度操作装置,非常易于操作,此款标准手动探针台支持宽范围应用,如:高温台(室温到200℃或300℃),亚微米级的操作和激光切割。
应用:
温度范围:室温到300℃
超低信号i-v测量(fa级)
各种c-v测量(准静态c-v, hf-cv,rf-cv)
rf测量(可到67ghz)
超高速i-v测量
扩展应用:
支持探卡(支持多点位晶圆可靠性测试wlr)
可加激光切割(点标记,保护层剥离,金属层切割)
显微镜可加亚微级精度,有效隔离振动,超高精度样品座
光电子中光接收/发散特性评估应用(如:led,ld,vcsel,pd)
高功率元器件测量(200a脉冲,+/-3kv三轴,+/-10kv同轴)
晶圆的可靠性测试(如:em,tddb,hci,nbti,bt)
手动高低温探针台
型号:hmp-800sc 可测8’’晶圆
型号:hmp-1200sc 可测12’’晶圆
此款手动探针台系统针对于新一代半导体装置设计,非常低的噪音和低的漏电流。在这个系统中,屏蔽的样品腔包含探针和样品台全部都在emi屏蔽环境中。此系统支持超低信号测试,1/f噪音测试,s参量测试,和高速i-v测试在控温变温环境中从-60℃到300℃(或者特殊环境到400℃)
这个探针台系统可选支持高电流和高电压功率测试。
hmp-610sc 6’’晶圆可选。
应用:
温度范围:室温到300℃或-60℃到300℃
超低信号i-v测量(fa级)
各种c-v测量(准静态c-v, hf-cv,rf-cv)[sub pf级]
1/f噪音评估
rtn(自由电子噪音)评估
高频噪音评估(到800mhz)
rf测量(到67ghz)/s 参数测量
超高速i-v测量
扩展应用:
支持探卡(支持多点位晶圆可靠性测试wlr)
光电子中光接收/发散特性评估应用(如:led,ld,vcsel,pd)
高功率元器件测量(200a脉冲,+/-3kv三轴,+/-10kv同轴)
晶圆的可靠性测试(如:em,tddb,hci,nbti,bt)
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